Etching Bay
- Classification: ISO 7
- Research activities: Wet and dry etching operations and nanoscale fabrication.
- Equipment: Ion miller, RIE, critical point dryer, chemical wet benches, ALD.
- Lighting: White
Tresneria galeria
Adituek kudeatutako abangoardiako tresneria arlo anitzetako ikerlariek erabiltzen dute, mikroskopio elektronikoak, tunel-mikroskopioak, eta nanofabrikazio eta karakterizazio erremintak barne.
Azpiegitura eta tresneria
6 200m2 -ko aparteko azpiegitura, 300m2 -ko areto garbia eta 15 laborategi ultra-sentikor, puntako tresneriarekin hornituak.
Harremana
Ralph Gay
Cleanroom Manager
+34 943574015
r.gay@nanogune.eu