Ion Beam Etcher (4Wave)

4Wave Ion Beam Etching photograph
Offered as External Service

Ion beam etching and sputtering system.

Research group
Equipment
Cleanroom
CR3 - Etching Bay

Areto garbia

300m2-ko areto garbiak ISO 5 (Class 100) eta ISO 7 (Class 1000) klasifikazioa duten guneak ditu, eta nanofabrikazio eta nanokarakterizazio prozesuetarako erabiltzen da.

Tresneria galeria

Adituek kudeatutako abangoardiako tresneria arlo anitzetako ikerlariek erabiltzen dute, mikroskopio elektronikoak, tunel-mikroskopioak, eta nanofabrikazio eta karakterizazio erremintak barne.