eBeam Lithography Room
- Classification: ISO 5 and ISO 6
- Research activities: Fabrication of nanoscale structures and nanoscale imagine.
- Equipment: RAITH150TWO and Raith e-LiNE+
- Lighting: Yellow
Tresneria galeria
Adituek kudeatutako abangoardiako tresneria arlo anitzetako ikerlariek erabiltzen dute, mikroskopio elektronikoak, tunel-mikroskopioak, eta nanofabrikazio eta karakterizazio erremintak barne.
Azpiegitura eta tresneria
6 200m2 -ko aparteko azpiegitura, 300m2 -ko areto garbia eta 15 laborategi ultra-sentikor, puntako tresneriarekin hornituak.
